當(dāng)制造商或機(jī)床用戶想要使用激光干涉儀檢查定位精度時。這些儀器可在極短的停機(jī)時間內(nèi)提供極其精確的測量。新的設(shè)備選件可進(jìn)行動態(tài)測量，包括速度和加速度曲線。

　　激光干涉儀是業(yè)界更精確的測量儀器。至此，它們已被用作接受機(jī)床的參考測量系統(tǒng)。些系統(tǒng)現(xiàn)在更易于使用，大大縮短了測量時間。新的測量選項(xiàng)，特別是在動態(tài)測量方面，為機(jī)床診斷提供了更多的可能性。例如，動態(tài)測量選項(xiàng)使您能夠以速度為單位記錄和分析運(yùn)動序列。速度和加速度也可以導(dǎo)出。軸的動態(tài)行為可以使用傅立葉變換進(jìn)行分析。這使得激光干涉測量法能夠保持其在高精度測量設(shè)備中的位置，并且在將來非常有效。

　　當(dāng)前，盡管新標(biāo)準(zhǔn)已發(fā)布為ISO230，但通常會根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)VDI / Unilog 3441接受并檢查機(jī)床。但是，由于機(jī)床的用戶和制造商熟悉VDI標(biāo)準(zhǔn)，因此它仍然很受歡迎?？梢酝ㄟ^大大減少測量所需的時間來確定根據(jù)VDI / Unilog 3441定位的機(jī)床的精度。在過去，在一臺機(jī)器上進(jìn)行所有測量可能需要幾天，而目前，測量可以在幾個小時內(nèi)完成。減少了時間機(jī)器，降低了測量成本，從而可以更規(guī)則的間隔重復(fù)進(jìn)行測量，從而確保了對精度的連續(xù)監(jiān)控。

　　確定機(jī)床位置誤差

　　為了設(shè)置定位誤差，激光干涉儀與要作為參考系統(tǒng)進(jìn)行測試的軸平行對齊(圖2)。激光的波長用于進(jìn)行測量。在干涉儀中，激光束被分為參考光束和測量光束。疊加相干波陣面以進(jìn)行測量。測量基于氦氖激光器。相對于真空中測量的折射率不同，應(yīng)該使用埃德倫(Edlén)公式進(jìn)行補(bǔ)償，因?yàn)榉駝t可能會產(chǎn)生較大的測量誤差。該表準(zhǔn)確地顯示了在不補(bǔ)償波長的情況下影響精度的影響因素。顯然，材料的熱膨脹系數(shù)影響測量值的結(jié)果的幅度是所有其他參數(shù)的10倍之多。表中的值表明，補(bǔ)償材料的熱膨脹至關(guān)重要。顯然，精確確定環(huán)境參數(shù)對于系統(tǒng)精度有多重要。為了校準(zhǔn)壓力和溫度傳感器，新的雷尼紹補(bǔ)償單元XC-80將記錄在傳感器中的變化存儲在校正表中，以實(shí)現(xiàn)最大可能的傳感器精度。

　　它可以使光束激光束在水平和垂直方向上以每分鐘35 mm的速度偏轉(zhuǎn)，因此不需要在激光頭中對準(zhǔn)光束傾斜度，只需在兩個反射鏡之間的測量范圍內(nèi)對準(zhǔn)光束即可。因此，不再需要將透鏡移動到光束對準(zhǔn)的上方和下方。雷尼紹激光頭XL-80非常小，因此不需要三腳架，因?yàn)榭梢允褂么判缘鬃鶎⑵浞胖迷跈C(jī)器的工作臺上。測量配置的這種簡化允許在不到一分鐘的時間內(nèi)對準(zhǔn)光束。

　　為了驗(yàn)收或驗(yàn)證機(jī)器，要驗(yàn)證的軸將根據(jù)所選的測試方法以定義的順序移動到各個位置。激光干涉儀系統(tǒng)記錄當(dāng)前位置并保存可能的變化。測量的結(jié)果是VDI3441的圖形系列，其中包含松弛度，離散度和定位精度的信息。由于位置誤差的松弛或變化被稱為“系統(tǒng)誤差”，因此在某種程度上可以使用控件的某些參數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。分散的隨機(jī)誤差是由無法系統(tǒng)消除的影響引起的。

　　對于“線性”方法，很容易創(chuàng)建數(shù)控程序。但是，缺點(diǎn)是某些點(diǎn)是在非常大的時間間隔內(nèi)測量的，熱影響可能會錯誤地解釋為分散。“擺錘”方法的優(yōu)點(diǎn)是在每個位置以連續(xù)的順序執(zhí)行多次測量。由于增加了CNC編程的工作量，因此與“線性”方法相比，這種類型的測量在過去不那么頻繁。但是，由于可以自動創(chuàng)建激光器的程序CNC軟件，因此擺錘的方法現(xiàn)在變得越來越重要。確定職位變動后，激光軟件可以創(chuàng)建校正主軸通過系統(tǒng)誤差所需的參數(shù)列表。根據(jù)控制類型，有時可以直接傳輸補(bǔ)償數(shù)據(jù)。立即進(jìn)行的后續(xù)測量表明補(bǔ)償成功。

　　機(jī)器評估的新可能性

　　具有動態(tài)測量干涉測量功能的系統(tǒng)擴(kuò)展為機(jī)床評估提供了新的可能性。例如，可以記錄和分析以前進(jìn)速度定義的運(yùn)動序列。與速度和加速度相關(guān)的配置文件使我們可以得出有關(guān)指南質(zhì)量的結(jié)論。

　　可以使用傅立葉分析來評估振動的行為。動態(tài)測量涉及用高頻數(shù)據(jù)測量激光，從而以這種方式表示激光光學(xué)系統(tǒng)的移動順序。可以通過不同的方式激活測量。最簡單的選擇是根據(jù)時間激活。在這種情況下，激光干涉儀記錄的數(shù)據(jù)會在一段時間內(nèi)以恒定頻率在您的PC上讀取。系統(tǒng)頻率的最大值為幾kHz，該范圍涵蓋了確定機(jī)床自然頻率的相關(guān)范圍。使用機(jī)器系統(tǒng)的擋板激活外部可以在機(jī)器軸和作為參考位置傳感器的干涉儀激光器之間建立直接關(guān)系。這種激活方法允許動態(tài)比較“

　　可以通過位移/時間，速度/時間或加速度/時間的形式的圖表來評估測量結(jié)果。該軟件的開發(fā)還可以進(jìn)行傅立葉變換以創(chuàng)建頻譜。這產(chǎn)生了用于動態(tài)驗(yàn)證機(jī)床的新的測量方法。

　　需要進(jìn)行一致性評估，以使軸移動以在其移動范圍內(nèi)以位移速度測量定義的常數(shù)。激光干涉儀記錄該運(yùn)動并以圖形方式表示。圖形速度/時間使用速度曲線來突出顯示速度單位中的不規(guī)則性。這些變化可能是由導(dǎo)向裝置或牽引軸上的阻力或保護(hù)裝置的摩擦引起的。

　　定位測試提供有關(guān)單位近似行為的信息。數(shù)控程序用于完成兩個位置之間的特定路徑。激光干涉儀代表了這一運(yùn)動。位移/時間圖形表示當(dāng)軸接近位置目標(biāo)時，如果超過該位置(例如，軸移動太遠(yuǎn))，則他稍后會收回目標(biāo)位置，或者到達(dá)沒有進(jìn)行手部矯正的位置。